氦質譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。
氦質譜檢漏儀中沒有手動閥，現已采用自控閥自動調節(jié)運轉時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵, 以消除可能造成的油返流。計算機技術也在檢漏儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進行。
檢漏儀現在已經滲透到軍工、航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。檢漏儀在未來的歲月中還將在許多的工業(yè)領域中得到新的應用。
氦質譜檢漏儀的優(yōu)點集中體現在以下幾個方面：
（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節(jié)零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。
為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構造和幾種不同的轉速。例如可通過采用改變分子泵轉速來達到此目的，且提高檢漏靈敏度。另外，逆擴散檢漏方式，實現了高壓強下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。
氦質譜檢漏儀質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。
